VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_3 after 2h 380C in Air
1
 
NORM
REGULAR
5
0
0
0
0
0
5
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_3 after 2h 380C in Air
2003
5
7
23
2
53
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
58
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
5
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
1875
0.102587
0.104241
93
0.104241
99
0.104232
85
0.104224
107
0.104216
117
0.104207
97
0.104199
101
0.10419
89
0.104182
109
0.104174
99
0.104165
98
0.104157
91
0.104148
73
0.10414
91
0.104132
79
0.104123
82
0.104115
100
0.104107
84
0.104098
136
0.10409
112
0.104081
96
0.104073
79
0.104065
74
0.104056
112
0.104048
91
0.10404
111
0.104031
121
0.104023
107
0.104015
93
0.104006
64
0.103998
92
0.10399
92
0.103981
92
0.103973
92
0.103964
83
0.103956
73
0.103948
91
0.103939
72
0.103931
99
0.103923
110
0.103914
72
0.103906
123
0.103898
125
0.103889
79
0.103881
82
0.103873
99
0.103864
99
0.103856
111
0.103848
74
0.103839
94
0.103831
135
0.103823
78
0.103814
103
0.103806
83
0.103798
94
0.103789
95
0.103781
130
0.103773
123
0.103764
100
0.103756
115
0.103748
113
0.103739
105
0.103731
150
0.103723
99
0.103715
109
0.103706
92
0.103698
141
0.10369
125
0.103681
131
0.103673
135
0.103665
162
0.103656
171
0.103648
148
0.10364
181
0.103631
200
0.103623
232
0.103615
293
0.103607
318
0.103598
342
0.10359
415
0.103582
491
0.103573
619
0.103565
607
0.103557
770
0.103549
879
0.10354
982
0.103532
1134
0.103524
1208
0.103515
1289
0.103507
1412
0.103499
1598
0.103491
1616
0.103482
1619
0.103474
1713
0.103466
1825
0.103457
1803
0.103449
1875
0.103441
1780
0.103433
1831
0.103424
1721
0.103416
1614
0.103408
1591
0.1034
1515
0.103391
1418
0.103383
1320
0.103375
1339
0.103367
1193
0.103358
1135
0.10335
1064
0.103342
920
0.103333
831
0.103325
809
0.103317
728
0.103309
644
0.1033
595
0.103292
555
0.103284
464
0.103276
434
0.103267
389
0.103259
311
0.103251
285
0.103243
258
0.103235
175
0.103226
183
0.103218
167
0.10321
124
0.103202
153
0.103193
143
0.103185
115
0.103177
120
0.103169
112
0.10316
90
0.103152
96
0.103144
78
0.103136
73
0.103127
65
0.103119
71
0.103111
74
0.103103
74
0.103095
61
0.103086
68
0.103078
54
0.10307
85
0.103062
40
0.103054
42
0.103045
74
0.103037
64
0.103029
46
0.103021
50
0.103012
51
0.103004
38
0.102996
56
0.102988
41
0.10298
60
0.102971
28
0.102963
24
0.102955
26
0.102947
60
0.102939
29
0.10293
27
0.102922
53
0.102914
53
0.102906
67
0.102898
38
0.102889
30
0.102881
37
0.102873
57
0.102865
52
0.102857
55
0.102849
22
0.10284
9
0.102832
21
0.102824
48
0.102816
40
0.102808
2
0.102799
35
0.102791
32
0.102783
24
0.102775
24
0.102767
8
0.102759
28
0.10275
36
0.102742
16
0.102734
28
0.102726
32
0.102718
15
0.10271
0
0.102701
14
0.102693
23
0.102685
43
0.102677
18
0.102669
17
0.102661
24
0.102653
43
0.102644
26
0.102636
29
0.102628
30
0.10262
19
0.102612
26
0.102604
42
0.102595
18
0.102587
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_3 after 2h 380C in Air
2003
5
7
23
2
53
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
38
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
5
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
552
0.100982
0.102587
118
0.102587
121
0.102579
104
0.102571
120
0.102563
117
0.102555
112
0.102547
121
0.102538
119
0.10253
100
0.102522
115
0.102514
101
0.102506
112
0.102498
113
0.10249
111
0.102482
115
0.102473
109
0.102465
131
0.102457
105
0.102449
94
0.102441
109
0.102433
96
0.102425
103
0.102417
94
0.102408
90
0.1024
118
0.102392
97
0.102384
96
0.102376
94
0.102368
119
0.10236
100
0.102352
102
0.102344
102
0.102335
108
0.102327
99
0.102319
129
0.102311
100
0.102303
101
0.102295
117
0.102287
119
0.102279
109
0.102271
112
0.102263
97
0.102254
119
0.102246
119
0.102238
127
0.10223
124
0.102222
124
0.102214
115
0.102206
93
0.102198
102
0.10219
123
0.102182
107
0.102174
120
0.102165
106
0.102157
120
0.102149
136
0.102141
119
0.102133
142
0.102125
144
0.102117
132
0.102109
150
0.102101
130
0.102093
137
0.102085
144
0.102077
139
0.102069
138
0.102061
150
0.102052
158
0.102044
190
0.102036
156
0.102028
157
0.10202
148
0.102012
199
0.102004
187
0.101996
149
0.101988
176
0.10198
180
0.101972
166
0.101964
207
0.101956
204
0.101948
200
0.10194
183
0.101932
208
0.101924
237
0.101916
223
0.101907
259
0.101899
274
0.101891
249
0.101883
288
0.101875
269
0.101867
269
0.101859
286
0.101851
249
0.101843
312
0.101835
359
0.101827
328
0.101819
342
0.101811
329
0.101803
371
0.101795
341
0.101787
369
0.101779
377
0.101771
446
0.101763
408
0.101755
372
0.101747
449
0.101739
454
0.101731
497
0.101723
457
0.101715
481
0.101707
468
0.101699
523
0.101691
476
0.101683
494
0.101675
530
0.101667
490
0.101659
540
0.101651
504
0.101643
552
0.101635
485
0.101627
524
0.101619
547
0.101611
486
0.101603
492
0.101595
466
0.101587
456
0.101579
422
0.101571
390
0.101563
427
0.101555
361
0.101547
392
0.101539
347
0.101531
332
0.101523
310
0.101515
314
0.101507
296
0.101499
323
0.101491
328
0.101483
303
0.101475
306
0.101467
314
0.101459
322
0.101451
291
0.101443
329
0.101435
372
0.101427
352
0.101419
360
0.101411
322
0.101403
331
0.101395
382
0.101387
347
0.101379
316
0.101371
317
0.101363
335
0.101355
300
0.101347
233
0.101339
228
0.101331
208
0.101323
188
0.101315
170
0.101308
155
0.1013
125
0.101292
91
0.101284
89
0.101276
51
0.101268
79
0.10126
68
0.101252
57
0.101244
42
0.101236
45
0.101228
43
0.10122
41
0.101212
39
0.101204
23
0.101196
25
0.101188
25
0.10118
30
0.101172
26
0.101165
21
0.101157
21
0.101149
24
0.101141
25
0.101133
35
0.101125
27
0.101117
18
0.101109
30
0.101101
3
0.101093
0
0.101085
27
0.101077
4
0.101069
16
0.101061
28
0.101054
2
0.101046
10
0.101038
11
0.10103
8
0.101022
9
0.101014
18
0.101006
21
0.100998
10
0.10099
26
0.100982
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_3 after 2h 380C in Air
2003
5
7
23
2
55
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
86
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
8
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
3346
0.104916
0.106641
122
0.106641
101
0.106632
141
0.106623
82
0.106615
57
0.106606
90
0.106597
102
0.106588
121
0.10658
118
0.106571
100
0.106562
94
0.106553
79
0.106545
71
0.106536
70
0.106527
78
0.106518
73
0.10651
73
0.106501
88
0.106492
74
0.106483
39
0.106475
81
0.106466
81
0.106457
110
0.106448
24
0.10644
55
0.106431
52
0.106422
88
0.106414
0
0.106405
41
0.106396
71
0.106387
27
0.106379
20
0.10637
64
0.106361
39
0.106353
37
0.106344
23
0.106335
33
0.106326
58
0.106318
61
0.106309
77
0.1063
39
0.106292
56
0.106283
73
0.106274
38
0.106265
72
0.106257
55
0.106248
104
0.106239
74
0.106231
57
0.106222
64
0.106213
52
0.106205
58
0.106196
109
0.106187
21
0.106179
69
0.10617
60
0.106161
73
0.106153
13
0.106144
72
0.106135
71
0.106126
58
0.106118
92
0.106109
81
0.1061
112
0.106092
115
0.106083
128
0.106074
130
0.106066
153
0.106057
204
0.106048
214
0.10604
252
0.106031
338
0.106022
391
0.106014
500
0.106005
563
0.105996
701
0.105988
875
0.105979
1023
0.105971
1270
0.105962
1476
0.105953
1709
0.105945
2001
0.105936
2253
0.105927
2543
0.105919
2730
0.10591
2845
0.105901
3124
0.105893
3195
0.105884
3346
0.105875
3241
0.105867
3200
0.105858
3096
0.105849
2970
0.105841
2767
0.105832
2402
0.105824
2158
0.105815
1950
0.105806
1696
0.105798
1474
0.105789
1204
0.10578
977
0.105772
838
0.105763
632
0.105755
553
0.105746
498
0.105737
344
0.105729
308
0.10572
299
0.105712
222
0.105703
225
0.105694
183
0.105686
208
0.105677
191
0.105668
132
0.10566
166
0.105651
121
0.105643
84
0.105634
124
0.105625
122
0.105617
128
0.105608
102
0.1056
124
0.105591
117
0.105582
110
0.105574
104
0.105565
137
0.105557
106
0.105548
133
0.105539
142
0.105531
101
0.105522
157
0.105514
157
0.105505
150
0.105497
148
0.105488
137
0.105479
125
0.105471
111
0.105462
130
0.105454
140
0.105445
169
0.105437
136
0.105428
146
0.105419
113
0.105411
194
0.105402
154
0.105394
128
0.105385
126
0.105377
114
0.105368
156
0.105359
150
0.105351
172
0.105342
86
0.105334
134
0.105325
201
0.105317
181
0.105308
149
0.1053
126
0.105291
143
0.105282
160
0.105274
140
0.105265
161
0.105257
114
0.105248
164
0.10524
135
0.105231
152
0.105223
134
0.105214
133
0.105206
163
0.105197
124
0.105188
136
0.10518
149
0.105171
168
0.105163
136
0.105154
116
0.105146
168
0.105137
122
0.105129
188
0.10512
107
0.105112
124
0.105103
132
0.105095
121
0.105086
116
0.105078
126
0.105069
118
0.105061
54
0.105052
85
0.105044
111
0.105035
136
0.105027
118
0.105018
83
0.10501
98
0.105001
96
0.104993
115
0.104984
130
0.104976
145
0.104967
134
0.104959
90
0.10495
110
0.104942
104
0.104933
105
0.104925
140
0.104916
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_3 after 2h 380C in Air
2003
5
7
23
2
55
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
298
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
3
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
3026
0.126345
0.128793
286
0.128793
321
0.128781
324
0.128768
398
0.128756
294
0.128744
342
0.128731
308
0.128719
351
0.128706
280
0.128694
261
0.128681
317
0.128669
347
0.128656
289
0.128644
355
0.128632
291
0.128619
375
0.128607
293
0.128594
309
0.128582
349
0.128569
323
0.128557
325
0.128545
291
0.128532
334
0.12852
347
0.128507
344
0.128495
343
0.128483
351
0.12847
361
0.128458
297
0.128445
281
0.128433
376
0.128421
316
0.128408
304
0.128396
295
0.128383
323
0.128371
303
0.128359
385
0.128346
339
0.128334
349
0.128321
270
0.128309
292
0.128297
287
0.128284
361
0.128272
237
0.12826
357
0.128247
448
0.128235
329
0.128223
320
0.12821
391
0.128198
357
0.128185
399
0.128173
397
0.128161
385
0.128148
446
0.128136
451
0.128124
451
0.128111
423
0.128099
407
0.128087
458
0.128074
470
0.128062
457
0.12805
437
0.128037
515
0.128025
539
0.128013
501
0.128
448
0.127988
446
0.127976
449
0.127963
533
0.127951
461
0.127939
501
0.127927
403
0.127914
476
0.127902
460
0.12789
438
0.127877
458
0.127865
552
0.127853
478
0.12784
435
0.127828
518
0.127816
475
0.127804
548
0.127791
540
0.127779
459
0.127767
613
0.127755
681
0.127742
656
0.12773
805
0.127718
849
0.127705
736
0.127693
995
0.127681
953
0.127669
1059
0.127656
1280
0.127644
1405
0.127632
1510
0.12762
1818
0.127607
1879
0.127595
2162
0.127583
2517
0.127571
2627
0.127558
2775
0.127546
2868
0.127534
3026
0.127522
2941
0.127509
2908
0.127497
2781
0.127485
2638
0.127473
2375
0.127461
2008
0.127448
1809
0.127436
1583
0.127424
1352
0.127412
1164
0.127399
1008
0.127387
874
0.127375
663
0.127363
525
0.127351
531
0.127338
399
0.127326
368
0.127314
342
0.127302
357
0.12729
293
0.127277
296
0.127265
341
0.127253
245
0.127241
243
0.127229
235
0.127217
127
0.127204
222
0.127192
167
0.12718
150
0.127168
166
0.127156
252
0.127144
182
0.127131
108
0.127119
120
0.127107
132
0.127095
159
0.127083
170
0.127071
98
0.127058
127
0.127046
195
0.127034
124
0.127022
217
0.12701
176
0.126998
133
0.126986
109
0.126973
63
0.126961
75
0.126949
138
0.126937
133
0.126925
104
0.126913
108
0.126901
123
0.126889
163
0.126876
87
0.126864
150
0.126852
69
0.12684
35
0.126828
17
0.126816
65
0.126804
113
0.126792
9
0.12678
88
0.126768
61
0.126755
56
0.126743
63
0.126731
110
0.126719
0
0.126707
76
0.126695
60
0.126683
66
0.126671
48
0.126659
122
0.126647
57
0.126635
48
0.126622
74
0.12661
28
0.126598
101
0.126586
104
0.126574
115
0.126562
50
0.12655
44
0.126538
44
0.126526
82
0.126514
57
0.126502
80
0.12649
40
0.126478
60
0.126466
52
0.126454
82
0.126442
85
0.12643
44
0.126418
93
0.126406
70
0.126394
37
0.126381
125
0.126369
72
0.126357
130
0.126345
 
epi-AlGaAs/AlGaAs: AlGaAs_3 after 2h 380C in Air
2003
5
7
23
2
55
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.2
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
546
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
3
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
9913
0.164536
0.168566
677
0.168566
623
0.168545
599
0.168524
675
0.168504
615
0.168483
490
0.168463
762
0.168442
574
0.168421
552
0.168401
522
0.16838
502
0.16836
522
0.168339
543
0.168319
612
0.168298
593
0.168277
416
0.168257
620
0.168236
530
0.168216
489
0.168195
538
0.168175
464
0.168154
377
0.168134
498
0.168113
459
0.168093
523
0.168072
443
0.168052
450
0.168031
393
0.168011
519
0.16799
497
0.16797
459
0.167949
448
0.167929
409
0.167908
382
0.167888
426
0.167868
269
0.167847
406
0.167827
400
0.167806
369
0.167786
323
0.167765
381
0.167745
366
0.167724
395
0.167704
285
0.167684
258
0.167663
256
0.167643
222
0.167622
321
0.167602
199
0.167582
243
0.167561
223
0.167541
242
0.167521
237
0.1675
255
0.16748
216
0.167459
260
0.167439
213
0.167419
227
0.167398
214
0.167378
208
0.167358
218
0.167337
181
0.167317
242
0.167297
204
0.167276
157
0.167256
173
0.167236
160
0.167216
227
0.167195
208
0.167175
265
0.167155
202
0.167134
180
0.167114
225
0.167094
314
0.167074
100
0.167053
178
0.167033
208
0.167013
305
0.166992
242
0.166972
214
0.166952
361
0.166932
260
0.166911
333
0.166891
262
0.166871
421
0.166851
356
0.166831
392
0.16681
504
0.16679
603
0.16677
580
0.16675
602
0.16673
745
0.166709
876
0.166689
955
0.166669
1238
0.166649
1267
0.166629
1429
0.166609
1727
0.166588
2045
0.166568
2326
0.166548
2626
0.166528
3009
0.166508
3389
0.166488
3808
0.166467
4336
0.166447
4720
0.166427
5476
0.166407
5830
0.166387
6414
0.166367
6996
0.166347
7639
0.166327
8098
0.166307
8537
0.166286
8952
0.166266
9047
0.166246
9598
0.166226
9913
0.166206
9812
0.166186
9635
0.166166
9751
0.166146
9623
0.166126
9052
0.166106
8659
0.166086
8197
0.166066
7944
0.166046
7320
0.166026
6659
0.166006
6159
0.165986
5511
0.165966
4963
0.165946
4243
0.165926
3734
0.165906
3216
0.165886
2796
0.165866
2355
0.165846
2004
0.165826
1674
0.165806
1464
0.165786
1177
0.165766
1017
0.165746
848
0.165726
569
0.165706
637
0.165686
474
0.165666
429
0.165646
350
0.165626
342
0.165606
330
0.165586
277
0.165566
259
0.165546
193
0.165526
190
0.165506
246
0.165486
109
0.165467
125
0.165447
129
0.165427
84
0.165407
193
0.165387
125
0.165367
143
0.165347
136
0.165327
90
0.165307
202
0.165288
98
0.165268
65
0.165248
130
0.165228
39
0.165208
180
0.165188
92
0.165168
176
0.165149
86
0.165129
31
0.165109
132
0.165089
107
0.165069
104
0.165049
123
0.16503
0
0.16501
93
0.16499
118
0.16497
64
0.16495
113
0.164931
122
0.164911
49
0.164891
105
0.164871
99
0.164852
23
0.164832
224
0.164812
186
0.164792
155
0.164773
151
0.164753
70
0.164733
72
0.164713
42
0.164694
150
0.164674
65
0.164654
27
0.164634
62
0.164615
114
0.164595
171
0.164575
35
0.164556
141
0.164536
end of experiment
